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半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室裝修、千級(jí)超凈間建設(shè)工程及方案

文章出處:技術(shù)支持|閱讀量:3027|發(fā)表時(shí)間:2020-10-28

隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級(jí)和各種使用要求,工業(yè)裝修對(duì)空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高,尤其是5G熱潮襲來、半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級(jí)的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。

千級(jí)凈化車間的應(yīng)用較為廣泛,在醫(yī)院手術(shù)室、機(jī)械電子等行業(yè)的裝修設(shè)計(jì)中潔常有使用。千級(jí)潔凈室指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),同時(shí)為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染,在室內(nèi)壓差上也有所要求,通常要求內(nèi)部壓力(靜壓)>外部壓力(靜壓);潔凈度要求高的空間壓力>潔凈度要求低的空間壓力;潔凈室門的朝向應(yīng)開向潔凈度級(jí)別高的房間。更多的千級(jí)凈化車間裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)和一般做法詳見下文

一、千級(jí)凈化車間的裝修設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

1.千級(jí)凈化車間的建筑通常劃分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中裝配式更為普遍,主要包括由初級(jí)、中級(jí)、高級(jí)空氣過濾器構(gòu)成的空調(diào)送回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)及其他配套系統(tǒng)。

2. 千級(jí)凈化車間的室內(nèi)空氣參數(shù)設(shè)置要求:

① 溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。

② 新風(fēng)量:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。

③ 送風(fēng)量:要滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。

二、千級(jí)凈化車間的一般做法

關(guān)于千級(jí)凈化車間的一般做法,CEIDI西遞將以電路板千級(jí)凈化車間的三種設(shè)計(jì)方案來比較分析。此處案例為蘇州一個(gè)美資柔性電路板EPC總承包項(xiàng)目中的一個(gè)典型工藝房間,溫濕度要求在(21±2)℃,濕度控制在(55±10)%。

1. 方案一:AHU(空調(diào)機(jī)組)+HEPA(高效送風(fēng)口)

2. 方案二:MAU(新風(fēng)機(jī)組)+RAU(循環(huán)機(jī)組)+HEPA(高效送風(fēng)口)

3. 方案三:AHU(空調(diào)機(jī)組)+FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)

對(duì)比三種方案發(fā)現(xiàn)三種方案造價(jià)差異不大,但方案三由于使用了大量循環(huán)風(fēng)且只經(jīng)過一次高效過濾,在運(yùn)行能耗上相比方案一和方案二消耗更少。因此在市場上,千級(jí)凈化車間隨著FFU價(jià)格的降低,越來越受到設(shè)計(jì)師和建設(shè)方的喜愛。

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